水处理臭氧发生多采用气隙放电法，因浓度需求，其电耗增高，器件的温升也不可避免，温升是影响臭氧产生和设备寿命的主要因素，所以一般需要冷却，主要有风冷，水冷两种，有的则通过冷气源来解决，采用哪种方式，由设备设计决定。

　　在同样臭氧发生部件、电源条件下，臭氧产量与气源干燥度是成正比的，即气源干燥度越高，发生量/小时值也就越高，所以对气源的净化干燥处理是不可少的，一般称为气源预处理或气源干燥器系统。目前气源干燥的手段主要有冷冻、露凝、化学法等，其干燥度以相当于空气温度计算，如-40℃指的是气源在-40℃时的干燥程度。气水混合装置是臭氧用于水处理必不可少的配套技术，虽然臭氧易溶于水，溶解度比氧气高十几倍，但必须采用一种技术手段使臭氧与水充分接触，接触面积、时间、臭氧浓度、压力等都是混合效率的决定因素。目前，臭氧与水的混合主要有以下几种：　　嚗气法：这是一种传统的简便方法，是靠臭氧气经压缩后利用某种泡化器件，让臭氧形成气泡与水充分接触，不难看出，气泡越小、越多、深度越大，效果越好。射流法：也称文丘里法，是利用水在管道中流动时通过装置变径加快流速形成负压吸气，通入臭氧与水在管路中混合。这种装置在安装时，一是射流器须与管路配套（以管径为准），二是射流器中的水流向不能存在逆压，避免水进入臭氧发生罐，三是射流器延出管路必须在2.5m以上，越长效率越高，四是流速要达到一定量，保证负吸形成，五是器件与管路必须用不锈钢或塑料材质，杜绝用钢、铁以免消耗臭氧与氧化腐蚀。射流法效率较高，但安装设计与要求应相当严格。　　涡轮负吸法：这种方式是通过水泵吸程加装气路，在供水时形成负吸将臭氧带入水中，效率较高。其原理与文丘里法基本相同，也广为采用。其安装要求与文丘里法也大致相同，需要特别注意的是，其气量控制，气量大时会影响水泵供水。　　混合塔法：这种方法是通过一个较高的装置塔，将水由高处喷下形成雾状，将臭氧气自下方通入并使之与水流形成逆行，使臭氧气与水充分接触形成臭氧水。此方式有无填料和有填料两种，材质是十分讲究的，效果也很好，只是成本造价较高。电控是水处理臭氧发生器必不可少的部分，直接关系到设备的开停及使用，一般分为、自动、数控三种模式，目前使用闭环控制的还较少，电控的设计是根据单机发生要求而定的，不一而足。
　　结构系统除将以上技术组装到一起外，还要考虑高浓度臭氧气的密封问题，避免泄漏伤及人体，必要时还要具备对剩余排除臭氧气的催化处理技术，要求都是很严格的。